WO3薄膜是一種過渡金屬氧化物半導(dǎo)體材料，其因?qū)δ承┻€原性氣體（如O3、NO2、NO、NH3、H2S）有較好的敏感特性，而常用來制取高質(zhì)量多功能傳感器。此外，氧化鎢對濕度也存在一定的敏感特性，所以更適合應(yīng)用于新一代的傳感器中。

多功能傳感器（multifunctional transducer）一般是指用一個傳感器能同時感受兩種或兩種以上的被測量，并轉(zhuǎn)換成可以接收和處理的信號的裝置，其廣泛應(yīng)用于工業(yè)生產(chǎn)、航空航天等領(lǐng)域。

氣體傳感器在多功能方面的進步最具有代表性，其正常能用來檢測H2S、C8H18、C10H20O、NH3等氣體。作為氣體傳感器中較為重要的零部件之一，敏感材料主要有ZnO、SnO2、WO3、WO3（Pt）、SnO2（Pd）、ZnO（Pt），它們對以上的四種氣體均會有響應(yīng)，但響應(yīng)的靈敏度卻有很大差別，根據(jù)其從不同敏感部分的輸出差異即可測出被測氣體的濃度。下面，我們一起來了解一下這些敏感材料的基本信息。

氧化鋅對外界環(huán)境（如溫度、光、濕氣等）十分敏感，外界環(huán)境的微小改變會迅速引起其表面或表面離子價態(tài)和電子運動的變化，從而立即引起其電阻的顯著變化。

氧化錫是一種無機物，其在低溫條件下不但對乙醇很敏感，對CO和H2也很敏感，因此僅通過改變傳感器工作溫度所能達(dá)到的氣敏選擇性是有限的。

三氧化鎢是鎢中物理化學(xué)性能較為穩(wěn)定的一種氧化物，其因晶體結(jié)構(gòu)特殊，而具有顯著的表面效應(yīng)、良好的氣敏性以及優(yōu)異的電致變色等特點，適合作為下一代的傳感器核心材料。